MOSFET制造商很多,几乎每一家制造商都有其工艺优化和商标。IR是HEXFET先锋,摩托罗拉构建了TMOS,Ixys制成了HiPerFET和MegaMOS,西门子拥有SIPMOS家族的功率三极管,而Advanced Power Technology拥有Power MOS IV技术,不一而足。不论工艺被称为VMOS、TMOS或DMOS,它都具有水平的栅结构且电流垂直流过栅极。
功率MOSFET的特别之处在于:包含像图2中并行连接所描述的那样的多个“单元”的结构。具有相同RDS(on)电阻的MOSFET并联,其等效电阻为一个MOSFET单元的RDS(on)的1/n。裸片面积越大,其导通电阻就越低,但是,与此同时,寄生电容就越大,因此,其开关性能就越差。
如果一切都是如此严格成正比且可以预测的话,有什么改进的办法吗?是的,其思路就是最小化(调低)基本单元的面积,这样在相同的占位空间中可以集成更多的单元,从而使RDS(on)下降,并维持电容不变。为了成功地改良每一代MOSFET产品,有必要持续地进行技术改良并改进晶体圆制造工艺(更出色的线蚀刻、更好的受控灌注等等)。
但是,持续不断地努力开发更好的工艺技术不是改良MOSFET的唯一途径;概念设计的变革可能会极大地提高性能。这样的突破就是飞利浦去年11月宣布:开发成功TrenchMOS工艺。其栅结构不是与裸片表面平行,现在是构建在沟道之中,垂直于表面,因此,占用的空间较少并且使电流的流动真正是垂直的(见图3)。在RDS(on)相同的情况下,飞利浦的三极管把面积减少了50%;或者,在相同的电流处理能力下,把面积减少了35%。